1- лаборатория иши (2 соат)

ИНТЕГРАЛ  МИКРОСХЕМАЛАР  ТАЙЁРЛАШ  ТЕХНОЛОГИЯСИ  ВА УЛАРНИНГ  ТУРЛАРИ  БИЛАН  ТАНИШИШ

Ишнинг маісади.

ИМС тайёрлаш технологиясининг асосий боскичлари  уларнинг  топологияси   билан танишиш ва ИМС белгиланиш тизимини  урганиб  чиіиш.

1. Укув топширигининг мазмуни.

1.1. Белгиланиш тизимини урганиб чикиш ва берилган ИМС лар мажмуидаги хар бир ИМС учун іисіача характеристика бериш;

- функционал вазифаси, технологиясининг тури, кулланиш сохаси, асосий электр параметрлари;

1.2. Микроскоп ёрдамида  кузатилаётган ИМС  кристаллининг структурасини чизиш ва тушунтириб бериш.

2. Лаборатория  ишини  бажариш  буйича услубий курсатмалар.

2.1. Иш бажариш  тартиби:

2.1.1. Намойиш килувчи макет ва кургазмали іуроллар билан танишиб чиіинг.

2.1.2. Берилган мажмуадаги ИМС нинг номерини, турининг классификацияси  ва  хар  бир  ИМС  туркумини  аникланг.

2.1.3. Маълумотномадан фойдаланиб урганилаётган ИМСга характеристика  беринг: бажаридиган вазифаси, куллланиш сохаси, асосий  электр  параметрлари.

2.1.4. ИМС тайёрлаш асосий босіичларидан фойдаланиб, ИМС таёрлаш технологик босіичларининг кетма-кетлиги хакида умумий баён беринг ва уларга іисіача характеристика беринг.

2.1.5. Ярим Хтказгич пластина намунасини микроскопнинг куриниши сохасига  урнатинг,  аниі тасвирга эришинг ва кХринаётган  тасвирни  чизиб  олинг.

2.1.6. Кузатилаётган  тасвир іайси технологик боскичга таълуіли.

2.1.7. Микроскоп остида  тугалланган  кичик   ва  урта  даражали интеграциядаги  ИМС  топологиясини  кХрикдан  Хтказинг.

2.2. Хисобот мазмуни

Хисобот іуйидагилардан иборат бХлиши керак:

2.2.1. Куйидаги мажмуадаги ИМСларнинг асосий белгиланишлари (2.1.2 - банд);

2.2.2. Берилган мажмуадаги хар бир ИМС учун іисіача характеристика (2.1.3. - банд);

2.2.3. ЯримХтказич ва гибрид ИМСлар тайёрлаш технологик босіичларини баёни;

2.2.4. Микроскоп остида кузатилаётган ИМС кристалли  структурасининг расми ва шу расмга мос келувчи технологик босіич мохиятининг баёни.

АДАБИЁТЛАР

1. Ефимов И.Е., Козырь И.Я. Основы микроэлектроники. Связь., М.: 1975 § 3.1-3.3, 4.1-4.4, 3.6-3.9, 4.10-4.13, 8.1-8.4.

2. Ефимов И.Е., Горбунов И.Ю., Козыр И.Я. Микроэлектроника. Высшая школа. М.: 1977  § 8.1-8.4.