Практическое занятие №4
Технологические особенности изготовления полупроводниковых приборов микроволнового диапазона
1. Задание
Опишите каждый из нижеперечисленных методов изготовления приборов СВЧ:
а) точечно-контактный;
б) диффузионный;
в) эпитаксиального наращивания;
г) ионного легирования.