При подаче прямого напряжения
в i-область одновременно инжектируются дырки из р-области и электроны из n-области.
Сопротивление i-области и всего диода становится малым, его значение определяется
постоянным током, протекающим через диод.. При обратном напряжении дырки и электроны
экстрагируются из i-области в p- и n-области соответственно. Уменьшение концентрации
носителей в i-области приводит к увеличению сопротивления i-об-ласти и всего
диода. Такая зависимость сопротивления p-i-n-диода от напряжения объясняет эффективность
его применения в качестве мощного выпрямительного диода, у которого должны быть
малое прямое и большое обратное, сопротивления. Разработка p-i-n-диодов с малой
емкостью позволила использовать их в СВЧ диапазоне.
Дифференциальное сопротивление
p-i-n-диода при изменении знака напряжения изменяется на несколько порядков,
в то время как емкость диода, определяемая в основном шириной i-области, изменяется
незначительно. Слабая зависимость емкости от напряжения расширяет возможности
использования p-i-n-диодов в СВЧ схемах с колебательными системами.
Рис. 6.4. Структура
и области легирования p-i-n диода.
Диод типа p-i-n предназначен
для схем мощных выпрямителей и СВЧ переключателей. Для получения большого выпрямленного
напряжения нужно обеспечить высокое допустимое обратное напряжение Uобр, а для
получения большого выпрямленного тока - малое прямое сопротивление диода. Эти
два требования взаимно противоречивы. Высокое Uобр можно получить путем увеличения
толщины p-n-перехода, для чего следует уменьшить примесную проводимость p- и
n-областей. Но при этом увеличивается сопротивление материала полупроводника,
что имеет существенное значение в случае работы диода при больших прямых токах.
Указанное противоречие можно устранить, если между p- и n-областями) расположить
область из высокоомного материала с очень малой концентрацией примесей, близкой
к собственному полупроводнику, что обеспечит высокое значение Uобр. В то же
время области р и п выполняют с большой концентрацией акцепторных и донорных
примесей, благодаря чему сопротивление этих областей диода может быть малым.
На границе между областями концентрация примесей должна резко изменяться.
а) в состоянии равновесия;
На рис. 6.6 показана p-i-n-структура
одного из наиболее широко применяемых в промышленности
переключающих СВЧ-диодов.
Диод типа p-i-n изготовляется
путем диффузии акцепторной и донорной примесей с противоположных сторон пластины
кремния с собственной электропроводностью, который имеет высокое сопротивление.
Рис.
6.6. Структура
p-i-n-диода
При низких частотах диод
типа р-i-п обнаруживает выпрямительные свойства, аналогичные обычному p-n-переходу.
Однако при более высоких частотах накопление заряда
в области i препятствует выпрямлению. Таким образом, когда к диоду прикладывается
прямое напряжение смещения, он работает как переменное сопротивление, зависящее
от величины напряжения. Когда к диоду прикладывается обратное напряжение, то наблюдается
постепенное уменьшение последовательного сопротивления ввиду увеличения ширины
обедненного слоя. Это увеличение ширины продолжается до тех пор, пока не произойдет
пробой и проводимость быстро увеличится.
В СВЧ диапазоне p-i-n-диоды
используются для создания
переключающих цепей (СВЧ мультиплексоров),
переменных и ступенчатых аттенюаторов, амплитудных модуляторов, плавных и ступенчатых
фазовращателей. Например, для создания ступенчатого фазовращателя (широко применяемых
в фазированных антенных решетках) p-i-n-диоды включаются с определенным интервалом
в линию передачи. Переключатели на p-i-n-диодах устойчивы в работе и имеют малые
потери на СВЧ. Недостатками p-i-n-диодов является меньшее, чем у диодов Шоттки,
быстродействие и отсутствие усиления.
Выпускаются р-i-n-диоды
с разными толщиной i-слоя, площадью структуры, рассеиваемой мощностью и быстродействием.
Емкость полупроводниковых структур обычно лежит в интервале от 0,1 до 3 пФ.
В мощных p-i-n-диодах
для СВЧ диапазона
ширина i-области делается большой
(0,1-0,5 мм), чтобы они могли работать при больших амплитудах напряжения (свыше
1 кВ) и импульсной мощности 10 кВт и более. Большая ширина i-области позволяет
также увеличить площадь сечения диода без существенного возрастания емкости,
улучшить теплоотвод и поднять среднюю рабочую мощность. Диоды с большой толщиной
i- слоя на частотах СВЧ-диапазона не являются выпрямителями, но могут быть использованы
для управления СВЧ- мощностью в качестве переключательных диодов. Их сопротивление
изменяется под действием внешнего низкочастотного напряжения.
Следует заметить, что p-i-n-диоды применяются как при малых уровнях мощности, так и на больших мощностях, достигающих сотен ватт в непрерывном режиме и сотен киловатт в импульсе.